庫侖法測厚儀測量方法
根據(jù)測頭和被測工件表面是否接觸,可將覆層厚度測量分為接觸測量和不接觸測量。?xml:namespace>
接觸測量是測頭和被測工件表面直接觸的測量,并有機(jī)械作用力存在,通常成制品和半成品的覆層厚度測量大多采用接觸測量。
不接觸測量是測頭和被測工件表面不發(fā)生接觸的測量,而且沒有機(jī)械作用力存在,如x射線熒光,B射線法等就多用于生產(chǎn)中的不接觸測量。
從對被測覆層是否進(jìn)行破壞看,覆層厚度可分為有損測量和無損測量,或稱破壞性測量和非破壞性測量。
有損測量分陽極溶解庫侖法、光學(xué)法(包括覆層斷面顯微鏡測量、干涉法光學(xué)裝置測量、偏振光學(xué)法裝置測量、掃描電鏡測量)、化學(xué)溶解法(包括點滴法、液流法、稱重法)。
無損測量分為磁法、渦流法、射線法、光學(xué)法(包括光切法、光電法、雙光束干涉法等)、電容法、微波法、超聲法。
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