庫侖法測厚儀測量方法

根據(jù)測頭和被測工件表面是否接觸，可將覆層厚度測量分為接觸測量和不接觸測量。

接觸測量是測頭和被測工件表面直接觸的測量，并有機(jī)械作用力存在，通常成制品和半成品的覆層厚度測量大多采用接觸測量。

不接觸測量是測頭和被測工件表面不發(fā)生接觸的測量，而且沒有機(jī)械作用力存在，如x射線熒光，B射線法等就多用于生產(chǎn)中的不接觸測量。

從對被測覆層是否進(jìn)行破壞看，覆層厚度可分為有損測量和無損測量，或稱破壞性測量和非破壞性測量。

有損測量分陽極溶解庫侖法、光學(xué)法(包括覆層斷面顯微鏡測量、干涉法光學(xué)裝置測量、偏振光學(xué)法裝置測量、掃描電鏡測量)、化學(xué)溶解法(包括點滴法、液流法、稱重法)。

無損測量分為磁法、渦流法、射線法、光學(xué)法(包括光切法、光電法、雙光束干涉法等)、電容法、微波法、超聲法。