型號 |
C121210 |
C122010 |
C123010 | |
測量范圍 |
X軸 |
1205mm(48") |
1205mm(48") |
1205mm(48") |
Y軸 |
1205mm(48") |
1205mm(80") |
1205mm(120") | |
Z軸 |
1005mm(40") |
1005mm(40") |
1005mm(40") | |
分辨率 |
0.0001mm(.000004") | |||
200C時的精度ISO10360-2 |
EPEE=(2.5+3L/1000)µm*(2.3+3L/1000) µm**
MPEP=2.2µm/2.0µm
(使用TP200/SP600或MPP-100時) |