型號 |
RS290C | |
主軸回轉(zhuǎn)精度 |
(±0.025+5H/10000)μm | |
立柱精度 |
0.5μm /100mm;
補償后:0.12μm/100mm, 全長優(yōu)于0.25μm | |
立柱對軸心回轉(zhuǎn)中心線的平行度(補償后): |
0.2μm 任意200mm,全長優(yōu)于0.5μm | |
R向傳感器量程 |
600μm,有效精度0.03μm | |
R向傳感器最高精度 |
0.001μm | |
R向光柵精度 |
- | |
Z向光柵精度 |
1μm | |
轉(zhuǎn)速 |
5轉(zhuǎn)/分鐘(1.5--8可調(diào)) | |
圓周采樣點 |
4096點/圈 | |
測量范圍 |
承載 |
23Kg(可選配,更大需定制) |
內(nèi)徑 |
最小可選配1mm | |
外徑 |
工作臺直徑Ф150mm可擴展更大,回轉(zhuǎn)直徑280mm.可擴展至更大 | |
高度 |
200mm |