項目 |
數值 | |
測定范圍 |
最大測定直徑 |
φ1650mm |
左右進給范圍(R軸) |
450mm (+0, +225, +450) | |
上下進給范圍(Z軸) |
550mm | |
最大測定高度 |
500mm | |
回轉精度 |
半徑方向 |
(0.08+H/1000)um |
直線度精度 |
上下方向(Z軸) |
0.15um/100mm、0.5um/490mm |
半徑方向(R軸) |
1.0um/200mm、2.0um/400mm | |
平行度精度 |
上下方向(Z軸) |
1.8um/350mm |
半徑方向(R軸) |
2um/200mm |
項目 |
數值 | |
測定范圍 |
最大測定直徑 |
φ1650mm |
左右進給范圍(R軸) |
450mm (+0, +225, +450) | |
上下進給范圍(Z軸) |
550mm | |
最大測定高度 |
500mm | |
回轉精度 |
半徑方向 |
(0.08+H/1000)um |
直線度精度 |
上下方向(Z軸) |
0.15um/100mm、0.5um/490mm |
半徑方向(R軸) |
1.0um/200mm、2.0um/400mm | |
平行度精度 |
上下方向(Z軸) |
1.8um/350mm |
半徑方向(R軸) |
2um/200mm |