型號(hào) |
200mm型 |
200/150mm 兼容型 |
100/125/150mm 兼容型 | |||||||||||
項(xiàng)目 |
L |
LM |
LB |
MB |
LMB |
L |
LM |
LB |
MB |
LMB |
L |
LM |
LMB | |
晶圓直徑 |
200晶圓邊 200mm切口 |
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150mm晶圓平邊 |
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100/125/150mm 晶圓平邊 |
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觀察方式 |
連續(xù)和采樣 |
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轉(zhuǎn)換方式 |
正面宏觀檢測 |
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背面宏觀檢測 |
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2次背面檢測 |
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表面顯微觀測 |
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適用顯微鏡 |
MX61/MX61L型 |
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規(guī)格(mm) |
580(W)*580(D)*297(H) |
490(W)*520(D)*297(H) | ||||||||||||
重量(kg) |
30 |
32 |
31 |
31 |
33 |
30 |
32 |
31 |
31 |
33 |
26 |
28 |
30 | |
能耗 |
電源:AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空壓力:-67kPa~-80kPa |