產(chǎn)品描述:
MX80 200/300mm自動化半導(dǎo)體檢查顯微鏡
產(chǎn)品特性
● 顯微鏡觀察所需操作基本電動化,極大提高工作效率
● 觀察條件可設(shè)定并存儲,使每個操作者得到最適宜自己的觀察條件
● 兩種尺寸載物臺可選:分別用于200mm晶圓和300mm晶圓
● 內(nèi)置式自動聚焦和手動聚焦兩種鏡體可選
技術(shù)規(guī)格
目鏡/物鏡:
UIS 目鏡 F.N.26.5
UIS 物鏡 物鏡適配器,配合明視野物鏡
顯微鏡鏡體:
兼容鏡體 適用于200/300mm晶圓觀測,一個RS232C外部通訊接口。
電動對焦部件:
·垂直行程25mm;Z軸向分辨率50nm(帶50倍或更高放大倍率的物鏡)
·各物鏡可進行對焦調(diào)節(jié);高度限制;載物臺降低(返回可設(shè)定)
反光照明:
照明(一體化)系統(tǒng):
電動選擇觀測系統(tǒng)(4組分光鏡選擇,用于明視野法、暗視野法、偏振光和熒光照射觀測)
自動聚焦(一體化)系統(tǒng):
激光主動法。波長:λ=780nm,CDRH 1級兼容。
技術(shù)參數(shù):