真空紫外燈
真空紫外燈是專業(yè)設(shè)計(jì)地用來(lái)提供波長(zhǎng)110 nm的深紫外光源的氘燈;光譜范圍從110 nm 到 350 nm,最大強(qiáng)度放射范圍在120nm至160nm內(nèi)。
真空紫外燈應(yīng)用在
高壓液相色譜儀
高診斷光學(xué)(質(zhì)量保證)
半導(dǎo)體行業(yè)
硅片表面清潔
在照片化學(xué)處理過程中提供高光能量
許多其他的應(yīng)用
賀利氏公司專注于研發(fā)高功率的真空紫外燈,功率可以達(dá)到250W;型號(hào)D200的真空紫外燈裝配了完整的冷卻罩,在冷卻水中的安裝非常容易。賀利氏公司設(shè)計(jì)了真空紫外燈的特殊供電裝置。
技術(shù)參數(shù)
Lamp type |
D |
D |
D200 VUV |
F05 |
J59 |
V01 |
Spectral range |
160nm - 600nm |
160nm - 600nm |
112nm - 600nm |
112nm - 370nm |
112nm - 370nm |
112nm-370nm |
Power |
200 W |
200 W |
200 W |
30W |
30W |
30W |
Cooling |
Water |
Water |
Water |
Air |
Air |
Air |
Aperture |
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Total length |
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75 |
75 |
146 |
Diameter |
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25 - |
28.5 - |
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Ignition voltage |
500 V |
500 V |
500 V |
280 V |
300 V |
250 V |
Guaranteed operating life |
1000 h |
1000 h |
300 h |
500 h |
500 h |
500 h |
Remarks |
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fitted with clamping flange DN 50 KF for connecting to vacuum system |
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Axial configuration |
Side window |
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Lamp type |
V02 |
V03 |
V04 |
V05 |
HPD2MGF |
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Spectral range |
160nm- |
112nm- |
160nm- |
112nm- |
112nm- |
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Power |
30W |
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