當(dāng)開(kāi)發(fā)這種新的TERPS技術(shù)時(shí),我們主要是為了提供一種具有最高精度和穩(wěn)定性的傳感器,可以用于較大的壓力和溫度范圍;并且具有堅(jiān)固、可靠的包裝,可用于惡劣環(huán)境。
高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000
與現(xiàn)有技術(shù)相比,TERPS(溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器)可提供更高的性能等級(jí),是具有最高的精度和穩(wěn)定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術(shù)(RPT)傳感器通常具有的壓力范圍,并且具有極為堅(jiān)固的包裝,適用于惡劣的環(huán)境。
此外, RPS/DPS 8000產(chǎn)品線提供了各種壓力和電氣接頭,這樣就可以靈活地進(jìn)行定制,廣泛用于從航空航天到海底工程以及過(guò)程工程到工業(yè)儀器等領(lǐng)域。
? 高精度,±0.01% FS(在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi))
?高度穩(wěn)定,±100 ppm FS/年
? 壓力范圍從2 bar(30 psi)至 70 bar(1000 psi),絕對(duì)壓力
?溫度范圍大, -40 °C 至+85 °C(-40 °F至185 °F)
? 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu),適用于惡劣環(huán)境
? 多輸出配置,TTL和二極管,RS-232和RS-485
當(dāng)開(kāi)發(fā)這種新的TERPS技術(shù)時(shí),我們主要是為了提供一種具有最高精度和穩(wěn)定性的傳感器,可以用于較大的壓力和溫度范圍;并且具有堅(jiān)固、可靠的包裝,可用于惡劣環(huán)境。
我們?cè)谥圃霻ERPS諧振器元件時(shí)充分利用了硅的力學(xué)性能。
為了優(yōu)化和平衡諧振器的設(shè)計(jì),我們采用了深度反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)硅技工技術(shù)。 DRIE可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu)。
精度為0.01% FS(100 ppm)
穩(wěn)定性為0.01% FS/年(100 pp)
深度反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)可以設(shè)計(jì)具有復(fù)雜和多變幾何形狀的結(jié)構(gòu),并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度,以將能量損失降至最低,并采用油浸絕緣結(jié)構(gòu)。
全焊TERPS模塊可以使頂級(jí)設(shè)計(jì)工程師利用標(biāo)準(zhǔn)材料包裝傳感器。 這種產(chǎn)品封裝在316L不銹鋼模塊中,起調(diào)節(jié)作用的電子設(shè)備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。