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Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器的產(chǎn)品介紹:
新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)對(duì)于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的最新需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來(lái)監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過(guò)程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級(jí)別下
1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。
亮點(diǎn)
對(duì) ppb 級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)
低濕 ppb 級(jí)別的靈敏度 (<1 ppb)
多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念
維護(hù)要求低
信號(hào)燈式的狀態(tài)指示
可設(shè)置警告和報(bào)警點(diǎn)
Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
(UHP) 超純氣體的管線檢測(cè)
技術(shù)指標(biāo):
| 響應(yīng)速度 | <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間 |
| 濕度量程 | 1 ppb to 20,000 ppm |
| 壓力范圍 | 0 to 10 bar |
| 耐壓等級(jí) | 300 bar |
| 泄漏測(cè)試 | 0-9 mbar l/s |
| 工作流量范圍 | 1 ~ 10 l/min |
| 工作溫度 | 5 ~ 40°C |
| 存儲(chǔ)溫度 | 30 ~ 70°C |
| 電源 | 20 ~ 28 V DC |
| 功耗 | 5 W 最大 |
| 外部保險(xiǎn)絲等級(jí) | 500 mA 快熔型 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | Modbus ASCII 兩線 RS485 |
| 警告和報(bào)警輸出 | 2 路 |
| 最大電壓 | 40 V DC |
| 最大電流 | 100 mA |
| 氣體接觸的材質(zhì) | |
| 外殼材質(zhì) | 不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra |
| 傳感器結(jié)構(gòu) | 氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層 |
| 內(nèi)部容積 | 4.4cm3 |
| 重量 | 450g |
| 氣路接口 | 1/4" m VCR |
| 電氣接口 | 9 - 針 D - 型 m 接口 |
| 電磁兼容性 | EN50081-2 和 EN50082-2 |
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