TY10

MCV質(zhì)量流量控制器MCV質(zhì)量流量控制器

ZX21

訂貨號(hào)：ZY289979 品牌：Alicat 產(chǎn) 地：美國(guó) 市場(chǎng) 價(jià)：折扣價(jià)：發(fā)貨周期：現(xiàn)貨或5天內(nèi)

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MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過(guò)程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計(jì)的。一個(gè)啟動(dòng)截止閥是常閉的，并且保證一個(gè)大氣壓下氦氣最大泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。
    MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計(jì)算時(shí)，MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時(shí)間。
    Alicat 的MCV可以在響應(yīng)時(shí)間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時(shí)間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品，并且?guī)椭懦`差。
    每個(gè)MCV都是預(yù)先設(shè)定的30種校準(zhǔn)氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過(guò)設(shè)備的按鍵或者RS-232來(lái)編程設(shè)定，使用RS-232可以通過(guò)一對(duì)線串聯(lián)最多26臺(tái)設(shè)備。
    MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

響應(yīng)時(shí)間50-100ms

量程 0.5sccm-20slpm

模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）

30種預(yù)設(shè)定校準(zhǔn)氣體

精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度

可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度

操作量程1%-100%

數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度

無(wú)預(yù)熱時(shí)間

小巧設(shè)計(jì)，方便替換其他設(shè)備

保證標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10-9的氣動(dòng)截止閥

終身維修

MCV質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

性能	MCV質(zhì)量流量控制器	描述
精度	±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度	在沒(méi)有流量條件下校準(zhǔn)
高精度選項(xiàng)	±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度	在沒(méi)有流量條件下校準(zhǔn)
重復(fù)性	±0.2%	滿量程
操作量程	1%-100%的滿量程	測(cè)量和控制
響應(yīng)時(shí)間	100	毫秒（可調(diào)）
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（STP）	25°&14.696PSIA	僅測(cè)量質(zhì)量流量用
操作溫度	-10～50	℃
零點(diǎn)漂移	0.02％	滿量程/℃/Atm
量程漂移	0.02％	滿量程/℃/Atm
濕度范圍	0-100%	無(wú)冷凝
控制流量范圍	102.4%	滿量程
最大耐壓	145	PSIG
輸入/輸出數(shù)字信號(hào)	質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度	RS-232或PROFIBUS
輸入/輸出模擬信號(hào)	質(zhì)量流量	0-5VDC
可選輸入/輸出第二路模擬	質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度	0-5VDC,0-10VD或4-20mA
電氣連接	8針或者DB-15
供電電壓：質(zhì)量流量計(jì)	12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA輸出）
供電電流：質(zhì)量流量計(jì)	0.300Amp
安裝位置敏感度	無(wú)
預(yù)熱時(shí)間	＜1	秒
閥泄漏率	1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)大氣壓sccm/s 氦氣最大
接液材質(zhì)	316L不銹鋼；FFKM(Kalrez)標(biāo)準(zhǔn)； Viton®；EDPM；Buna一些氣體所需的氯丁橡膠；質(zhì)量流量控制器還附加303不銹鋼，430不銹鋼
1、高精度選項(xiàng)不包括量程低于5sccm 2、如果選擇PROFIBUS通信，則沒(méi)有模擬信號(hào)可選。PROFIBUS的設(shè)備不帶顯示，看PROFIBUS性能所需的供電電壓和電流 3、如您需要特殊材質(zhì)，請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)licat公司咨詢

MCV質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品分類

流體開(kāi)關(guān)控制

氣體流量計(jì)

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