MCV質(zhì)量流量控制器性能特點(diǎn)
MCV系列質(zhì)量流量控制器適用于真空噴涂工業(yè)
Alicat的MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過(guò)程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計(jì)的。一個(gè)啟動(dòng)截止閥是常閉的，并且保證一個(gè)大氣壓下氦氣最大泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。
MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計(jì)算時(shí)，MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時(shí)間。
Alicat 的MCV可以在響應(yīng)時(shí)間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時(shí)間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品，并且?guī)椭懦`差。
每個(gè)MCV都是預(yù)先設(shè)定的30種校準(zhǔn)氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過(guò)設(shè)備的按鍵或者RS-232來(lái)編程設(shè)定，使用RS-232可以通過(guò)一對(duì)線串聯(lián)最多26臺(tái)設(shè)備。
MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）
MCV系列質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
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響應(yīng)時(shí)間50-100ms
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量程 0.5sccm-20slpm
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模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）
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30種預(yù)設(shè)定校準(zhǔn)氣體
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精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
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可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
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操作量程1%-100%
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數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度
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無(wú)預(yù)熱時(shí)間
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小巧設(shè)計(jì)，方便替換其他設(shè)備
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保證標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10-9的氣動(dòng)截止閥
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終身維修
MCV系列質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
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性能 |
MCV質(zhì)量流量控制器 |
描述 |
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精度 |
±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度 |
在沒有流量條件下校準(zhǔn) |
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高精度選項(xiàng) |
±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度 |
在沒有流量條件下校準(zhǔn) |
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重復(fù)性 |
±0.2% |
滿量程 |
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操作量程 |
1%-100%的滿量程 |
測(cè)量和控制 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
100 |
毫秒（可調(diào)） |
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標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（STP） |
25°&14.696PSIA |
僅測(cè)量質(zhì)量流量用 |
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操作溫度 |
-10～50 |
℃ |
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零點(diǎn)漂移 |
0.02％ |
滿量程/℃/Atm |
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量程漂移 |
0.02％ |
滿量程/℃/Atm |
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濕度范圍 |
0-100% |
無(wú)冷凝 |
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控制流量范圍 |
102.4% |
滿量程 |
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最大耐壓 |
145 |
PSIG |
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輸入/輸出數(shù)字信號(hào) |
質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 |
RS-232或PROFIBUS |
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輸入/輸出模擬信號(hào) |
質(zhì)量流量 |
0-5VDC |
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可選輸入/輸出
第二路模擬 |
質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 |
0-5VDC,0-10VD或4-20mA |
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電氣連接 |
8針或者DB-15 |
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供電電壓：質(zhì)量流量計(jì) |
12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA輸出） |
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供電電流：質(zhì)量流量計(jì) |
0.300Amp |
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安裝位置敏感度 |
無(wú) |
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預(yù)熱時(shí)間 |
＜1 |
秒 |
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閥泄漏率 |
1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)大氣壓sccm/s 氦氣最大 |
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接液材質(zhì) |
316L不銹鋼；FFKM(Kalrez)標(biāo)準(zhǔn)； Viton®；EDPM；Buna一些氣體所需的氯丁橡膠；質(zhì)量流量控制器還附加303不銹鋼，430不銹鋼 |
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1、 高精度選項(xiàng)不包括量程低于5sccm
2、 如果選擇PROFIBUS通信，則沒有模擬信號(hào)可選。PROFIBUS的設(shè)備不帶顯示，看PROFIBUS性能所需的供電電壓和電流
3、 如您需要特殊材質(zhì)，請(qǐng)聯(lián)系A(chǔ)licat公司咨詢 |
MCV系列質(zhì)量流量控制器機(jī)械性能
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滿刻度MCV控制器 |
機(jī)械尺寸 |
過(guò)程連接 |
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0.5SCCM -20SLPM |
4.992”H x 6.710”W x 1.50”D |
1/4” VCR 外螺紋 |
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推薦使用焊接的VCR配件（過(guò)程連接），請(qǐng)參考42頁(yè) | | 
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