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高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS

 
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英國密析爾Michell 高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS英國密析爾Michell高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS濕度范圍1ppb~20,000ppm咨詢TS10721 留言

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英國密析爾Michell高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS詳細(xì)介紹
高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS性能特點(diǎn)

專為半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)而設(shè)計(jì),適合多點(diǎn)安裝的微量水分異動(dòng)預(yù)警系統(tǒng) 

特點(diǎn): 
◆ 快速響應(yīng)ppb水平的微量濕度變化 
◆ 高靈敏度,實(shí)時(shí)監(jiān)測 
◆ 小巧經(jīng)濟(jì),適合多點(diǎn)安裝 
◆ 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置可編程 
◆ 交通燈直觀狀態(tài)顯示 
◆ MODBUS 兼容 

典型運(yùn)用: 
◆  在線檢測半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度 

技術(shù)參數(shù):

響應(yīng)時(shí)間
<1Min ( 在1ppb基礎(chǔ)上的20ppb變動(dòng))
濕度范圍
1ppb~20,000ppm
工作壓力
0~10Bar
壓力等級(jí)
30 MPa
泄漏測試
0~9Mbar S-1
工作溫度
+5~+40°C
氣室材料:
冷拉不銹鋼, 內(nèi)部超微米級(jí)電拋光
防護(hù)等級(jí):
IP 65
氣路接口:
1/4’’VCR
流量等級(jí):
建議為1~10 NL/Min
工作電源:
20~28VDC
輸出信號(hào):
4-20mA(RS485 可選)
質(zhì)量保證期:
12個(gè)月

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功能描述英國密析爾Michell高純氣微量濕度異動(dòng)變送器PUR-PS
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