型號 |
SURFCOM 130A | ||
測量范圍 |
X軸(橫向) |
50m | |
Y軸(縱向) |
800mm(測量范圍/分辯率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm) | ||
直線度精度 |
0.3mm/50mm | ||
分
析
項
目 |
使用規(guī)格 |
JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格 | |
參數(shù) |
Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc
AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR | ||
評價曲線 |
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)、波紋度中心曲線(Motif)、包絡(luò)波紋度曲線 | ||
表面特性圖表 |
負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線 | ||
傾斜補償方式 |
直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵補償、(直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內(nèi)) | ||
倍率 |
縱倍率(Z軸) |
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動 | |
橫倍(X軸) |
1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動 | ||
濾波器的種類 |
標(biāo)準(zhǔn)型濾波器2RC、相位補償型濾波器2RC、相位補償型濾波器(高斯濾波器) | ||
測量速度 |
0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速) | ||
傳感器 |
前端半徑2mm、材質(zhì)為金剛石、測量力為0.75mN | ||
先進的 功能 |
測量AI |
裝載有測量AI功能、即使初學(xué)者也可容易掌握 | |
段差分析功能 |
最適于測量半導(dǎo)體零部件的膜厚及面積 | ||
PC卡 |
輸出文本文件、將數(shù)據(jù)傳送至電腦 | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 |
標(biāo)準(zhǔn)片E-MC-S24B、記錄紙(E-CH-S21A)、觸摸筆(E-MA-S54A)操作說明書 | ||
各要素 |
電源 |
AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA | |
設(shè)置尺寸 |
700(W)*300(D)*150(H)mm | ||
質(zhì)量 |
8Kg |