型號 |
SURFCOM FLEX | |||||||
-5OA |
-35B |
-40A |
-45A | |||||
量程 |
Z方向 |
±400μm |
±160μm | |||||
驅(qū)動軸 |
X方向 50mm |
X方向 12.5mm |
Y方向 4.0mm | |||||
分辨率 |
乙方向 |
0.00016/±4μm
0.16μm/±400μm |
0.01μm/±20μm
0.08μm/±160μm | |||||
分析項目 |
對應(yīng)規(guī)格 |
JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格 | ||||||
參數(shù) |
JIS-2001 |
Ra、Pa、Pq、Pt、Rz、RzJ、Rzmax、Rq、Rp, Rt,R3z, RSm, Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Pk, Rpk,Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, | ||||||
Motif |
R. Rx. AR, W, Wx ,AW, Wte | |||||||
評價曲線 |
剖面曲線、粗糙度曲線、ISO13565特殊粗糙度曲線、粗糙度中心曲線(Motif)、波紋度Motif曲線、包絡(luò)波紋度曲線 | |||||||
濾波波紋度曲線、
波紋度曲線 |
__________ | |||||||
特征曲線 |
負荷曲線、振幅分布曲線 | |||||||
濾波 |
濾波方式 |
高斯、2RC、2RC(無相位補償) | ||||||
截止波 |
λc:0.08、0.25、0.8、2.5、5、8、25mm
λs:0.25、0.8、2.5、8、25μm |
λc:0.08、0.25、0.8、2.5mm
λs:2.5、8μm |
λc:0.08、0.25、0.8μm
λs:2.5μm | |||||
評價長度 |
0.1~50mm(0.1mm單位) |
0.4~12.5mm(0.1mm單位) |
0.4~4.0mm(0.1mm單位) | |||||
測量速度 |
0.15~1.5mm/s |
0.6mm/s |
0.3mm/s | |||||
傳感器 |
動作方式 |
普通型 |
標準型 |
退避型 |
橫向測量型 | |||
傳感器方式 |
差勁變壓器 |
差動電感(變位型) | ||||||
測針 |
金剛石、60°圓錐、2μmR |
金剛石、90°圓錐、5μmR,導(dǎo)頭32mmR(驅(qū)動方向) | ||||||
測力 |
0.75mN以下 |
4mN以下 | ||||||
尺寸及
質(zhì)量 |
電源 |
內(nèi)置充電電池(AC變壓器充電),充電時間3小時 | ||||||
耗電量 |
約30VA(充滿電后可以測600次) | |||||||
質(zhì)量 |
約90g | |||||||
外形尺寸 |
FLEX部:132(W)x58(D)X214(H)mm | |||||||
標準附屬品 |
標準片(E-MC-S24B)、AC變壓器、記錄紙(E-CH-S25A)、說明書 | |||||||
傳感器(E-DT-SE19A)
測定子(DM43801)
驅(qū)動部線(E-SC-S517A) |
傳感器(E-DT-SM10A)
測定子(E-WJ-S64A)
驅(qū)動部線(E-SC-S518A) |
傳感器(E-DT-SM39A)
標準片(E-WJ-S558A)
V型導(dǎo)頭(E-WJ-S536A)
驅(qū)動部線(E-SC-S519A) |