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TY10S5000DX表面粗糙度測(cè)量機(jī)ZX21

TY10

S5000DX表面粗糙度測(cè)量機(jī)

ZX21
S5000DX表面粗糙度測(cè)量機(jī)
訂 貨 號(hào):zy422465 品    牌:日本東京精密 產(chǎn)    地:中國(guó) 市 場(chǎng) 價(jià): 折 扣 價(jià): 發(fā)貨周期:現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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產(chǎn)品描述技術(shù)方案相關(guān)儀器最新上架商品咨詢使用評(píng)價(jià)
產(chǎn)品描述:

·準(zhǔn)確性世界第一
儀器選用高穩(wěn)定性雙光路激光干涉式傳感器,實(shí)現(xiàn)了世界最高分辨率:0.3nm
·設(shè)計(jì)新穎
新的圓柱形設(shè)計(jì),可使儀器檢測(cè)更大的工件
·速度快,振動(dòng)小
在驅(qū)動(dòng)器上采用線性馬達(dá)技術(shù),使得測(cè)量的速度快,振動(dòng)小。高速測(cè)量(最大200mm/s),實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率



技術(shù)參數(shù):

測(cè)量范圍(mm)
Z軸(縱向)
13mm/50mm測(cè)臂、臂26mm/100mm測(cè)臂
X軸(橫向)
200mm
 
 
精度
Z軸指示精度(縱向)
±(0.2+2| H |/100) mm (±0.206μm/ H±6mm)
測(cè)量分辨率
0.31nm/50mm測(cè)臂
X軸指示精度(橫向)
±0.2+L/1000μm ?。ā?.4μm/L200mm)
測(cè)量分辨率
0.54nm
直線度精度
0.05+3L/10000μm (0.11μm/L200mm)
測(cè)量方式
Z軸(縱向)高穩(wěn)定倍光路型激光干涉計(jì)
X軸(橫向)反光分析光尺
粗糙度處理功能
參數(shù)或計(jì)算類型
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
標(biāo)準(zhǔn)Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,
SR,SAR
評(píng)價(jià)曲線
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動(dòng)圓波紋度曲線、滾動(dòng)圓中心線
波紋度曲線、KIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡(luò)波紋度曲線
表面特性圖表負(fù)荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線
傾斜補(bǔ)償
直線補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵曲線補(bǔ)償(直線、R面、兩端補(bǔ)償可
以在任意范圍內(nèi))
CUTOFF值
0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm(9級(jí))任意(0.001-50mm)
縱倍率
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍
橫倍率
0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍
輪廓度處理功能
參數(shù)或計(jì)算類型
點(diǎn)、直線、部分圓、橢圓、最在點(diǎn)、最小點(diǎn)、距離、坐標(biāo)著、極坐標(biāo)差、直交/極坐標(biāo)差顯示、交叉
要素(點(diǎn)-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓)、對(duì)稱要素(點(diǎn)-點(diǎn)、點(diǎn)-圓、點(diǎn)-橢圓、直
線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓¬-橢圓)、面積計(jì)算、Overpin計(jì)算、尺寸線顯示功能、計(jì)算結(jié)果與
設(shè)計(jì)值比對(duì)、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動(dòng)要素判定、計(jì)算點(diǎn)的重復(fù)功能、工件軌跡功
能、峰值谷值搜尋功能、自動(dòng)操作記錄.回放功能、形狀設(shè)計(jì)值比對(duì)、最佳似合功能、設(shè)計(jì)值生成、
IGES/DXF轉(zhuǎn)換
基準(zhǔn)設(shè)定原點(diǎn)設(shè)定、X軸設(shè)定、平行移動(dòng)、回轉(zhuǎn)移動(dòng)
最小測(cè)量間距
0.0005~1mm
最大測(cè)量點(diǎn)數(shù)
最大150,000點(diǎn)
縱倍率
0.01~10,000,000倍(任意、自動(dòng))
橫倍率
0.01~10,000,000倍(任意、自動(dòng))
 
 
 
 
 
驅(qū)動(dòng)速度
上下移動(dòng)速度(Z軸)
0~200mm/s
測(cè)量速度(X軸)
0.03~3mm/s(粗糙度測(cè)量時(shí)) 0.02~20mm/s(輪廓度測(cè)量時(shí))
移動(dòng)速度(X軸)
0.02~60mm/s
上下驅(qū)動(dòng)范圍
500mm
驅(qū)動(dòng)部交換式
0.75mN、2mmR半徑、金剛石
 
驅(qū)動(dòng)部交換式
0.75mN、2mmR半徑、金剛石
 


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S5000DX表面粗糙度測(cè)量機(jī)

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