·準確性世界第一
儀器選用高穩(wěn)定性雙光路激光干涉式傳感器,實現(xiàn)了世界最高分辨率:0.3nm
·設計新穎
新的圓柱形設計,可使儀器檢測更大的工件
·速度快,振動小
在驅動器上采用線性馬達技術,使得測量的速度快,振動小。高速測量(最大200mm/s),實現(xiàn)高生產率
測量范圍(mm) |
Z軸(縱向) |
13mm/50mm測臂、臂26mm/100mm測臂 | |
X軸(橫向) |
200mm | ||
精度 |
Z軸指示精度(縱向) |
±(0.2+2| H |/100) mm (±0.206μm/ H±6mm) | |
測量分辨率 |
0.31nm/50mm測臂 | ||
X軸指示精度(橫向) |
±0.2+L/1000μm ?。ā?.4μm/L200mm) | ||
測量分辨率 |
0.54nm | ||
直線度精度 |
0.05+3L/10000μm?。?.11μm/L200mm) | ||
測量方式 |
Z軸(縱向)高穩(wěn)定倍光路型激光干涉計 | ||
X軸(橫向)反光分析光尺 | |||
粗糙度處理功能 參數(shù)或計算類型 |
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO 標準Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku. Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM, SR,SAR | ||
評價曲線 |
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線 波紋度曲線、KIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)波紋度中心曲線(Motif)、包絡波紋度曲線 表面特性圖表負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分曲線 | ||
傾斜補償 |
直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵曲線補償(直線、R面、兩端補償可 以在任意范圍內) | ||
CUTOFF值 |
0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm(9級)任意(0.001-50mm) | ||
縱倍率 |
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 | ||
橫倍率 |
0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 | ||
輪廓度處理功能 參數(shù)或計算類型 |
點、直線、部分圓、橢圓、最在點、最小點、距離、坐標著、極坐標差、直交/極坐標差顯示、交叉 要素(點-直線、直線-下線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓)、對稱要素(點-點、點-圓、點-橢圓、直 線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓¬-橢圓)、面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結果與 設計值比對、鏡面反轉、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復功能、工件軌跡功 能、峰值谷值搜尋功能、自動操作記錄.回放功能、形狀設計值比對、最佳似合功能、設計值生成、 | ||
IGES/DXF轉換 |
基準設定原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動 | ||
最小測量間距 |
0.0005~1mm | ||
最大測量點數(shù) |
最大150,000點 | ||
縱倍率 |
0.01~10,000,000倍(任意、自動) | ||
橫倍率 |
0.01~10,000,000倍(任意、自動) | ||
驅動速度 |
上下移動速度(Z軸) |
0~200mm/s | |
測量速度(X軸) |
0.03~3mm/s(粗糙度測量時) 0.02~20mm/s(輪廓度測量時) | ||
移動速度(X軸) |
0.02~60mm/s | ||
上下驅動范圍 |
500mm | ||
驅動部交換式 |
0.75mN、2mmR半徑、金剛石
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驅動部交換式 |
0.75mN、2mmR半徑、金剛石
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