型號 |
SURFCOM 480A | |
測量范圍 |
X軸(橫向) |
100mm |
Y軸(縱向) |
800mm(測量范圍/分辯率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm) | |
直線度精度 |
(0.05+1.5L/1000) mm =測量長度(mm) | |
分析項目 |
使用規(guī)格 |
JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格 |
參數(shù) |
Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc
AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR | |
評價曲線 |
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線波紋度曲線、DIN4776特殊曲線、粗糙度中心曲線(Motif)、波紋度中心曲線(Motif)、包絡波紋度曲線 | |
表面特性圖表 |
負荷曲線、功率譜曲線圖、振幅分布曲線 | |
傾斜補償方式 |
直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵補償、(直線、R面、兩端補償可以在任意范圍內(nèi)) | |
倍率 |
縱倍率(Z軸) |
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自動 |
橫倍(X軸) |
1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自動 | |
濾波器的種類 |
標準型濾波器2RC、相位補償型濾波器2RC、相位補償型濾波器(高斯濾波器) | |
測量速度 |
0.03、0.06、0.1.5、0.30 、0.60、 1.5 、3、 6mm/s(4速) | |
傳感器 |
前端半徑2mm、材質(zhì)為金剛石、測量力為0.75mN | |
先進的功能 |
測量AI |
裝載有測量AI功能、即使初學者也可容易掌握 |
段差分析功能 |
最適于測量半導體零部件的膜厚及面積 | |
PC卡 |
輸出文本文件、將數(shù)據(jù)傳送至電腦 | |
標準配件 |
標準片E-MC-S24B、記錄紙(E-CH-S21A)、觸摸筆(E-MA-S54A)操作說明書 | |
各要素 |
電源 |
AC100~240V±10%、50/60Hz、90VA |
設置尺寸 |
1000(W)*800(D)*750(H)mm | |
質(zhì)量 |
105Kg |