SE401在線式激光橢偏儀 SE 401是出色的單波長橢偏儀, 使用旋轉(zhuǎn)分析器,對測量橢偏角度有高重復(fù)性和長期穩(wěn)定性,快速測量數(shù)據(jù),基于windows操作系統(tǒng)的軟件使測量精確、快速、簡單。SE 401過程控制橢偏儀適用于監(jiān)控動態(tài)過程,如不同環(huán)境下單層膜的生長或蝕刻過程。
規(guī)格
?激光波長 632.8 nm
?測量時間最小80 ms(測量Ψ,Δ數(shù)據(jù))。
?接口配置,用于將橢偏儀安裝在反應(yīng)腔上。
?激光聚焦高度調(diào)節(jié)
?應(yīng)力釋放窗口
?基于windows系統(tǒng)的操作分析軟件,在線監(jiān)控橢偏測量并計算單層膜的膜厚、折射率。
選項
?高真空應(yīng)力釋放窗口
?使橢偏儀正面向上的附加置換單元
?雙波長激光 (可選405 nm或1550 nm)
?角度計可調(diào)節(jié)入射角,步進(jìn)值5度。載物臺直徑150mm
?TIMECALC 軟件,動態(tài)橢偏測量模擬和分析軟件。