機(jī)型 | SJ-310 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型 | SJ-310R 退避型驅(qū)動(dòng) | SJ-310S 橫向驅(qū)動(dòng) |
編號(hào) | 178-571-01A | 178-573-01A | 178-575-01A |
測定力 | 0.75 mN | ||
固定長度 (X軸) | 16mm | 5.6mm | |
固定范圍 (Z軸) | 360μm(-200μm~+160μm) | ||
解析度/測定范圍 | 0.02 μm / 360 μm, 0.006μm / 100μm, 0.002 μm / 25um | ||
任意測定長 | 0.3~16 mm (0.01mm 間隔) | 0.3~5.6 mm (0.01 mm間隔) | |
參數(shù)值 | Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, S, Pc, R3z, mr(c), Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr, sk, ku, Δα, Δq, Wte, Wx, W, AW (共35個(gè)參數(shù)) | ||
通用規(guī)范 | JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, ISO' 97, ANSI,VDA | ||
輸出功能 | USB/RS-232C/SPC輸出 |