X軸(驅(qū)動(dòng)部) | 測(cè)量范圍:100mm |
分辨率:0.05μm | |
檢測(cè)方法:線性編輯器 | |
驅(qū)動(dòng)速度:0-40mm/s | |
測(cè)量速度:0.02-5mm/s | |
移動(dòng)方向:向后 | |
直線度:0.15μm/100mm | |
Z2軸(立柱) | 類型:手動(dòng)操作或電驅(qū)動(dòng) |
垂直移動(dòng):350mm或550mm | |
分辨率:1μm | |
檢測(cè)方法:旋轉(zhuǎn)編碼器 | |
驅(qū)動(dòng)速度:0-20mm/s *僅適于電驅(qū)動(dòng)型 | |
檢測(cè)器 | 范圍/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm |
檢測(cè)方法:無(wú)軌/有軌測(cè)量 | |
測(cè)力:4mN或0.75mN(低測(cè)力型) | |
測(cè)針針尖:金剛石、90°/5μmR(60°/2μmR:低測(cè)力型) | |
導(dǎo)頭曲率半徑:40mm | |
檢測(cè)方法:差動(dòng)電感方式 | |
控制器 | 顯示:7.5英寸帶背光的TFT彩顯 |
打印機(jī):內(nèi)置熱敏打印機(jī) | |
放大倍率:水平:×10至×500,000,自動(dòng) 垂直:×0.5至10,000,自動(dòng) | |
驅(qū)動(dòng)裝置的控制 | 通過(guò)操縱桿手動(dòng)手柄的操作 |